телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Стоимость
Стоимость по запросу
Специальное предложение
Готово к отгрузке
Производитель
Установка состоит из камеры для термического испарения образцов из органических / неорганических материалов, вакуумной системы, системы измерения вакуума, источника тока, системы контроля температуры нагрева образца, электронной системы управления, системы контроля толщины напыляемого материала.
| Установка в напольном исполнении | Установка в настольном исполнении | |
| Вакуумная камера | Нерж. сталь, 500*520*650 мм | Спец. стекло, Ø 170 х 130 мм |
| Вакуум | до 2*10-5 Па | До 8 *10-4 Па |
| Держатель подложек | 120 *120 мм 200..300 мм, с возможностью регулировки до 50 мм вверх-вниз Вращение 5-30 об./мин. |
Ø 50 мм Расстояние до нагревателя 70…100 мм |
| Испарители | 2 лодочки (мощность по 2000 Вт) 1 тигель для тугоплавких металлов до 1300 °С (емкость тигля: 2 куб. см) 8 тиглей для органики (100 – 500 °С) |
2 лодочки |
| Точность регулировки температуры | ± 1 °С (для органических источников) | регулируется ток |
| Контроль толщины напыляемого материала | 11 датчиков / 2 блока измерения | 1 датчик опционально |
| Вакуумная система | Форвакуумный насос 8 л\с и Турбомолекулярный насос FF200/1200 | Форвакуумный и Турбомолекулярный насосы |
| Электропитание | 380 В, 50 Гц, 12 кВт | 220 В, 50 Гц, 2.5 кВт |
