телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Стоимость
Стоимость по запросу
Специальное предложение
Готово к отгрузке
Производитель
- Вакуумная камера с вращающимся столиком для подложек и планетарным устройством вращения 6-ти тиглей для напыляемых материалов
- Система откачки вакуума на базе форвакуумного и турбомолекулярного насосов
- Шкаф электропитания и стойка управления с контроллером с сенсорным экраном
- Чиллер и компрессор для пневматических линий
- Блок измерения толщины покрытия
- Высоковольтный блок (обеспечивает питание источника электронов в камере).
- Блок отклонения электронного луча по осям X-Y
- Блок питания опционально доступных терморезистивных нагревателей
- Блок очистки камеры плазмой тлеющего разряда (опционально)
| Вакуумная камера | нерж. сталь, Ø 500 х 600 мм, жидкостное охлаждение стенок и медных тиглей (6 шт.) |
| Высоковольтный блок, напряжение | 10 кВ |
| Держатель подложек | Вращающийся, 0-10 об/мин, Ø 150 мм |
| Вакуум | До 6.6 х 10-5 Па |
| Неравномерность покрытия | < 3% |
| Нагрев подложек | До 350 °С |
| Электропитание | 380 В, 50 Гц, 30 кВт |
