Система безмасковой литографии Nanyte beam

valentin — Thu, 28 Aug 2025 08:27:04 +0000

Описание

Системы безмасковой литографии позволяют создавать наношаблоны, без необходимости использовать медленные и дорогостоящие фотошаблоны. Это удобство особенно полезно для исследований и быстрого прототипирования. Система Nanyte Beam дополняет эти преимущества, перенося их на настольные рабочие станции без ущерба для производительности.

Модуль Beam Engine фокусирует луч ультрафиолетового лазера в пятно с ограниченной дифракцией и сканирует его для экспонирования любого произвольного рисунка на фоторезисте. Для экспонирования больших пластин прецизионные шаговые двигатели перемещают пластину и позволяют сшивать несколько экспозиций. Модуль Beam Engine способен создавать элементы размером менее 0.8 мкм (CD) на 5-дюймовой пластине.

Преимущества

Компактность. Полнофункциональная безмасочная литография при размерах меньше настольного компьютера.
Мощность. Субмикронное разрешение при экспонировании поля записи менее чем за две секунды.
Сверхбыстрая автофокусировка. Пьезоприводы фокусируются менее чем за секунду с помощью проприетарной оптики с замкнутым контуром фокусировки.
Многослойная печать без лишних хлопот. Полуавтоматический режим позволяет выполнить многослойное выравнивание за считанные минуты.

Компоновка

Минимальная ширина линии		2 мкм (гарантированно) 0.8 мкм (достижимо)
Минимальный шаг		1.6 мкм (достижимо)
Время экспозиции		< 2 с для 1 поля записи
Макс. поле записи		400 Х 400 мкм
Длина волны лазера		405 нм
Лазерный гальванометр	Размер шага	8 nm
	Повторяемость	< 100 нм (статично)
	Скорость	до 200 мм/с

Ступенчатая обработка

Моторизированный шаговый двигатель	Разрешение энкодера	0.1 мкм
	Повторяемость шагов (1σ)	Лучше чем 0.3 мкм
	Зона движения	120 Х 120 мм
Макс. размер образца		130 Х 130 мм (> 5”)
Выравнивание пластин		Поддержка многослойных процессов

Общие данные

Доступные форматы файлов		.bmp, .png, .tiff, .gds Произвольнрые формы можно рисовать непосредственно в ПО.
ПО	Компоновка	Nanyte Beam Xplorer
	Дизайн	KLayout (самая мощная), MS Paint/Powerpoint (быстрая компоновка)
Масса		Легче 20 кг
Габариты		330 ✕ 310 ✕ 340 мм