Установка состоит из вакуумной камеры для распыления, вращающейся платформы с установленной на ней мишенью, держателя образца, контура подачи контролируемой атмосферы, системы откачки (форвакуумный и турбомолекулярный насосы), лазера с источником питания, оптической системы сканирования по осям X-Y,  системы измерения вакуума, стойки питания и управления, блока измерения толщины напыляемого материала, чиллера.

Типичные характеристики:

The post Установки вакуумного лазерного напыления first appeared on Cryotrade Engineering.

— Вакуумная камера с вращающимся столиком для подложек и планетарным устройством вращения 6-ти тиглей для напыляемых материалов

— Система откачки вакуума на базе форвакуумного и турбомолекулярного насосов

— Шкаф электропитания и стойка управления с контроллером с сенсорным экраном

— Чиллер и компрессор для пневматических линий

— Блок измерения толщины покрытия

— Высоковольтный блок (обеспечивает питание источника электронов в камере).

— Блок отклонения электронного луча по осям X-Y

— Блок питания опционально доступных терморезистивных нагревателей

— Блок очистки камеры плазмой тлеющего разряда (опционально)

Типичные характеристики:

The post Установки электронно-лучевого напыления first appeared on Cryotrade Engineering.

Установка состоит из камеры для термического испарения образцов из органических / неорганических материалов, вакуумной системы, системы измерения вакуума, источника тока, системы контроля температуры нагрева образца, электронной системы управления, системы контроля толщины напыляемого материала.

Типичная конфигурация и характеристики:

Такие установки могут быть опционально интегрированы в перчаточные ящики (через заднюю или боковую стенку, либо через дно, в зависимости от задачи клиента)

The post Установки вакуумного терморезистивного напыления first appeared on Cryotrade Engineering.

Для распыления мишеней из металлов применяют магнетроны постоянного тока (DC), а для неметаллических материалов (полупроводников и диэлектриков) – магнетроны переменного тока радиочастотного диапазона (RF).

Типичная конфигурация:

— Вакуумная камера с вращающимся держателем подложки и с 2-мя смотровыми окнами

— Система откачки вакуума на базе форвакуумного и турбомолекулярного насосов

— Магнетрон DC с регулировкой угла наклона головки мишени

— Магнетрон RF с регулировкой угла наклона головки мишени

— Блок измерения толщины наносимого покрытия

— Шкаф электропитания

— Приборная стойка с контроллером с сенсорным экраном

— Автоматический блок регулировки подачи плазмообразующих газов

— Электропривод подъема крышки камеры

— Пневматический привод заслонок мишеней

— Датчики Пирани и высокого вакуума

— Чиллер и Воздушный компрессор для пневматических линий

Типичные технические характеристики

The post Установки вакуумного магнетронного распыления first appeared on Cryotrade Engineering.

VCM 600 V3_GB представляет собой специальный тепловой испаритель, предназначенный для присоединения к перчаточной камере (Glove Box, GB). Вакуумная камера из нержавеющей стали и стойка для инструментов размещаются под перчаточной камерой. Полезный объем внутри перчаточной камеры практически не используется — только плоская дверца из нержавеющей стали, установленная на нижней плоскости перчаточной камеры. Возможно подключение как к новой, так и имеющейся у пользователя GB.

Сама вакуумная камера может иметь различную конфигурацию, дополнительные вакуумные порты и т.п. Она прикрепляется к перчаточному ящику снизу с помощью специального адаптера для обеспечения герметичности. На боковой стенке камеры установлена дверца из нержавеющей стали со стеклянным смотровым окном, через которую загружаются материалы для испарения и выполняется очищение камеры. Через дверцу внутри GB пользователь имеет до-ступ к держателю подложки для загрузки/выгрузки образцов и вентиляции камеры газом.

Дополнительные опции

1. Дополнительный источник испарения для последовательного испарения 1.2 Дополнительный стандартный источник питания (150А) для каждого источника испаре-ния для совместного испарения
2. Источник питания тока 300A в комплекте с измерителем, проводами и т.п.
3. Камера из нержавеющей стали, диаметром 30 см и высотой 40 см, со смотровым окном и вспомогательным механизмом подъема
4. D-образная камера из нержавеющей стали, с откидной дверцей со смотровым окном
5. Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 300 л/с
6. Ручной затвор для VCM600
7. Электромеханический затвор
8. Опция вращения подложки со скоростью до 40/70 об/мин. Не совместима с опцией нагрева.
9. Форвакуумный насос
10. Комплект термопар.
11. Возможность подогрева подложки до 250 °С, с ручным управлением (контроль тока нагрева).
12. Возможность подогрева подложки до 350 °С, регулировка с помощью PID контроллера.
13. Адаптер для микроэлектронных лодочек
14. VCM-Thick_01 SQM-160, 2Ch, блок контроля толщины кварцевых кристаллов, с одной кварцевой головкой, охлаждаемой водой, кабели осциллятора
15. VCM-Thick_02 1Ch блок контроля толщины кварцевого кристалла с одной кварцевой го-ловкой охлаждаемой водой, проводом, осциллятором, кабелями, программным обеспечением (Для использования требуется подключение к компьютеру)

The post Вакуумная система VCM 600 V3 GB first appeared on Cryotrade Engineering.

Напольное исполнение системы VCM 600 V3 имеет характеристики, подобные настольной си-стеме, но в другом корпусе. Также в стандартную комплектацию включен SQM-160 – 2 ка-нальный кварцевый измеритель толщины с одной охлаждаемой водой головкой. Стандартный источник питания позволяет работать с токами до 250А в непрерывном режиме и до 300А в режиме «вспышки».
Системы SP3_SS и SP3_Glass имеют уже три источника испарения (ток в непрерывном режиме – 150А), в остальном они идентичны системе V3 Rack.
Исполнение V3 Rack является базовым для напольных систем. Все напольные системы имеет тот же набор опций, что и настольные варианты.

VCM600_SP3_Glass

VCM600_SP3_SS

Три индивидуальных источника теплового излучения

Дополнительные опции

1. Дополнительный источник испарения для последовательного испарения 1.2 Дополнительный стандартный источник питания (150А) для каждого источника испаре-ния для совместного испарения
2. Источник питания тока 300A в комплекте с измерителем, проводами и т.п.
3. Камера из нержавеющей стали, диаметром 30 см и высотой 40 см, со смотровым окном и вспомогательным механизмом подъема
4. D-образная камера из нержавеющей стали, с откидной дверцей со смотровым окном
5. Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 300 л/с
6. Ручной затвор для VCM600
7. Электромеханический затвор
8. Опция вращения подложки со скоростью до 40/70 об/мин. Не совместима с опцией нагрева.
9. Форвакуумный насос
10. Комплект термопар.
11. Возможность подогрева подложки до 250 °С, с ручным управлением (контроль тока нагрева).
12. Возможность подогрева подложки до 350 °С, регулировка с помощью PID контроллера.
13. Адаптер для микроэлектронных лодочек
14. VCM-Thick_01 SQM-160, 2Ch, блок контроля толщины кварцевых кристаллов, с одной кварцевой головкой, охлаждаемой водой, кабели осциллятора
15. VCM-Thick_02 1Ch блок контроля толщины кварцевого кристалла с одной кварцевой го-ловкой охлаждаемой водой, проводом, осциллятором, кабелями, программным обеспечением (Для использования требуется подключение к компьютеру)

The post Вакуумная система VCM 600 V3 Rack, SP3_SS и SP3-Glass first appeared on Cryotrade Engineering.

VCM600 V4 оснащена следующими дополнительными опциями:

•  Два источника испарения с селекторным переключателем для последовательного или сов-местного испарения;
•  Держатель подложки с возможностью вращения со скоростью 0-40 об/мин;
•  Электромагнитный затвор с регулируемым положением для контроля толщины напыляемого слоя;
•  SQM-160 – двухканальный кварцевый измеритель толщины с одной охлаждаемой водой го-ловкой.

Система VCM 600 V4 имеет практически максимальную комплектацию, возможную для компактных настольных систем такого типа. Её возможностей достаточно для практически любых задач, решаемых с помощью метода терморезистивного испарения.

Дополнительные опции

1. Дополнительный источник испарения для последовательного испарения 1.2 Дополнительный стандартный источник питания (150А) для каждого источника испаре-ния для совместного испарения
2. Источник питания тока 300A в комплекте с измерителем, проводами и т.п.
3. Камера из нержавеющей стали, диаметром 30 см и высотой 40 см, со смотровым окном и вспомогательным механизмом подъема
4. D-образная камера из нержавеющей стали, с откидной дверцей со смотровым окном
5. Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 300 л/с
6. Ручной затвор для VCM600
7. Электромеханический затвор
8. Опция вращения подложки со скоростью до 40/70 об/мин. Не совместима с опцией нагрева.
9. Форвакуумный насос
10. Комплект термопар.
11. Возможность подогрева подложки до 250 °С, с ручным управлением (контроль тока нагрева).
12. Возможность подогрева подложки до 350 °С, регулировка с помощью PID контроллера.
13. Адаптер для микроэлектронных лодочек
14. VCM-Thick_01 SQM-160, 2Ch, блок контроля толщины кварцевых кристаллов, с одной кварцевой головкой, охлаждаемой водой, кабели осциллятора
15. VCM-Thick_02 1Ch блок контроля толщины кварцевого кристалла с одной кварцевой го-ловкой охлаждаемой водой, проводом, осциллятором, кабелями, программным обеспечением (Для использования требуется подключение к компьютеру)

The post Вакуумная система VCM 600 V4 first appeared on Cryotrade Engineering.

VCM 600 — это надежная, быстрая, мощная, простая и универсальная вакуумная система термо-резистивного испарения с возможностью конфигурирования. Несмотря на то, что модель имеет небольшие габариты – она является полноценной системой терморезистивного испарения. Плавное регулирование интенсивности тока позволяет точно контролировать температуру источника.

Высокая стеклянная вакуумная камера позволяет создавать тонкие пленки металлов или дру-гих материалов с высокой однородностью — 95% и 92% на подложках диаметром 10 и 20 см со-ответственно. Стеклянный колпак выполняется из боросиликатного стекла с защитной меха-нической сеткой. Возможно исполнение, в котором стеклянный колпак может быть заменен на вакуумный кожух из нержавеющей стали диаметром 30 см и высотой 45 см.

Версия V1 является стандартной. Версия Basic отличается отсутствием турбомолекулярного насоса, а V2, в отличие от V1, имеет дополнительный ручной затвор для регулировки толщи-ны напыления. Все эти системы имеют только один источник испарения в стандартном исполнении, в то время как в V3 установлено уже два источника испарения с селекторным переключателем для последовательного или совместного использования

VCM 600 V2 SS с вакуумной камерой из нержавеющей стали с механическим механизмом перемещения

VCM 600 V3

VCM 600 V3 со стальной вакуумной камерой вместо стеклянного колпака и до-бавленной позже системой измерения толщины пленок

Комплект поставки

• Один (для версий Basic, V1 и V2) или два (для V3) испарителя с 2-мя высокоточными про-водами из бескислородной твёрдотянутой меди
• Плита из высококачественного алюминия с шестью (V1 и V2) либо восемью (V3) 1-дюймовыми портами
• Порт откачки вакуумной камеры, NW 100, с защитной сеткой
• Турбомолекулярный откачной пост (80 — 100 л/с), с защитным термокарманом, вакуумным датчиком Pirani и контроллером, а также масляным форвакуумным насосом (кроме версии Basic)
• Вакуумный колпак PYREX (диаметр 12», высота 18″) из боросиликатного стекла с защитной металлической сеткой, либо вакуумная камера из нержавеющей стали диаметром = 30 см, высотой = 45 см с механическим механизмом перемещения (стандартна для версии V2 SS)
• Блок управления мощностью нагрева (PCU) в составе:
  • Высоковольтный источник питания переменного тока 150А непрерывный (до 200А – на короткое время) (2 шт. для версии V3)
  • Измеритель тока (на каждый канал)
  • Система защиты от короткого замыкания (на каждом канале)
  • 0–100% регулирование тока нити или лодочки (независимое для каждого канала)
  • Максимальная температура накаливания: 1800 °С (для вольфрамовых лодочек)
• Круглый держатель основания из нержавеющей стали, диаметром 10 см, с держателями для образцов
• Возможность регулирования расстояния от образца до держателя подложки (мин. 15 см)
• Вентиляционный клапан (ручной)
• Разъемы для подключения воды (вход-выход)
• Для версии V2: ручной затвор с регулируемым положением

Базовое давление:

• 5.0×10^-6 гПа со стандартным (80—100 л/с) турбомолекулярным насосом
• 1.0×10^-6 гПа — с опционально доступным турбомолекулярным насосом со скоростью откачки 300 л/с.
  В любую систему можно добавить какие-либо опции. Набор доступных опций – в конце брошюры.

Дополнительные опции

1. Дополнительный источник испарения для последовательного испарения 1.2 Дополнительный стандартный источник питания (150А) для каждого источника испаре-ния для совместного испарения
2. Источник питания тока 300A в комплекте с измерителем, проводами и т.п.
3. Камера из нержавеющей стали, диаметром 30 см и высотой 40 см, со смотровым окном и вспомогательным механизмом подъема
4. D-образная камера из нержавеющей стали, с откидной дверцей со смотровым окном
5. Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 300 л/с
6. Ручной затвор для VCM600
7. Электромеханический затвор
8. Опция вращения подложки со скоростью до 40/70 об/мин. Не совместима с опцией нагрева.
9. Форвакуумный насос
10. Комплект термопар.
11. Возможность подогрева подложки до 250 °С, с ручным управлением (контроль тока нагрева).
12. Возможность подогрева подложки до 350 °С, регулировка с помощью PID контроллера.
13. Адаптер для микроэлектронных лодочек
14. VCM-Thick_01 SQM-160, 2Ch, блок контроля толщины кварцевых кристаллов, с одной кварцевой головкой, охлаждаемой водой, кабели осциллятора
15. VCM-Thick_02 1Ch блок контроля толщины кварцевого кристалла с одной кварцевой го-ловкой охлаждаемой водой, проводом, осциллятором, кабелями, программным обеспечением (Для использования требуется подключение к компьютеру)

The post Вакуумная система VCM 600 (Basic, V1, V2 и V3) в настольном исполнении first appeared on Cryotrade Engineering.