Вакуумная система VCM 600 (Basic, V1, V2 и V3) в настольном исполнении
Печать страницы
Tecuum AG – базирующаяся в Швейцарии компания, специализирующаяся на разработке и производстве вакуумных продуктов для научных и индустриальных применений. Основной сферой деятельности является производство систем для терморизистивного испарения (встре-чается также наименование «термовакуумное напыление»).
VCM 600 — это надежная, быстрая, мощная, простая и универсальная вакуумная система термо-резистивного испарения с возможностью конфигурирования. Несмотря на то, что модель имеет небольшие габариты – она является полноценной системой терморезистивного испарения. Плавное регулирование интенсивности тока позволяет точно контролировать температуру источника.
Высокая стеклянная вакуумная камера позволяет создавать тонкие пленки металлов или дру-гих материалов с высокой однородностью - 95% и 92% на подложках диаметром 10 и 20 см со-ответственно. Стеклянный колпак выполняется из боросиликатного стекла с защитной меха-нической сеткой. Возможно исполнение, в котором стеклянный колпак может быть заменен на вакуумный кожух из нержавеющей стали диаметром 30 см и высотой 45 см.
Версия V1 является стандартной. Версия Basic отличается отсутствием турбомолекулярного насоса, а V2, в отличие от V1, имеет дополнительный ручной затвор для регулировки толщи-ны напыления. Все эти системы имеют только один источник испарения в стандартном исполнении, в то время как в V3 установлено уже два источника испарения с селекторным переключателем для последовательного или совместного использования
VCM 600 V2 SS с вакуумной камерой из нержавеющей стали с механическим механизмом перемещения
VCM 600 V3
VCM 600 V3 со стальной вакуумной камерой вместо стеклянного колпака и до-бавленной позже системой измерения толщины пленок
Комплект поставки
Один (для версий Basic, V1 и V2) или два (для V3) испарителя с 2-мя высокоточными про-водами из бескислородной твёрдотянутой меди
Плита из высококачественного алюминия с шестью (V1 и V2) либо восемью (V3) 1-дюймовыми портами
Порт откачки вакуумной камеры, NW 100, с защитной сеткой
Турбомолекулярный откачной пост (80 - 100 л/с), с защитным термокарманом, вакуумным датчиком Pirani и контроллером, а также масляным форвакуумным насосом (кроме версии Basic)
Вакуумный колпак PYREX (диаметр 12'', высота 18") из боросиликатного стекла с защитной металлической сеткой, либо вакуумная камера из нержавеющей стали диаметром = 30 см, высотой = 45 см с механическим механизмом перемещения (стандартна для версии V2 SS)
Блок управления мощностью нагрева (PCU) в составе:
Высоковольтный источник питания переменного тока 150А непрерывный (до 200А – на короткое время) (2 шт. для версии V3)
Измеритель тока (на каждый канал)
Система защиты от короткого замыкания (на каждом канале)
0–100% регулирование тока нити или лодочки (независимое для каждого канала)
Максимальная температура накаливания: 1800 °С (для вольфрамовых лодочек)
Круглый держатель основания из нержавеющей стали, диаметром 10 см, с держателями для образцов
Возможность регулирования расстояния от образца до держателя подложки (мин. 15 см)
Вентиляционный клапан (ручной)
Разъемы для подключения воды (вход-выход)
Для версии V2: ручной затвор с регулируемым положением
Базовое давление:
5.0×10-6 гПа со стандартным (80—100 л/с) турбомолекулярным насосом
1.0×10-6 гПа - с опционально доступным турбомолекулярным насосом со скоростью откачки 300 л/с.
В любую систему можно добавить какие-либо опции. Набор доступных опций – в конце брошюры.
Дополнительные опции
Дополнительный источник испарения для последовательного испарения 1.2 Дополнительный стандартный источник питания (150А) для каждого источника испаре-ния для совместного испарения
Источник питания тока 300A в комплекте с измерителем, проводами и т.п.
Камера из нержавеющей стали, диаметром 30 см и высотой 40 см, со смотровым окном и вспомогательным механизмом подъема
D-образная камера из нержавеющей стали, с откидной дверцей со смотровым окном
Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 300 л/с
Ручной затвор для VCM600
Электромеханический затвор
Опция вращения подложки со скоростью до 40/70 об/мин. Не совместима с опцией нагрева.
Форвакуумный насос
Комплект термопар.
Возможность подогрева подложки до 250 °С, с ручным управлением (контроль тока нагрева).
Возможность подогрева подложки до 350 °С, регулировка с помощью PID контроллера.
Адаптер для микроэлектронных лодочек
VCM-Thick_01 SQM-160, 2Ch, блок контроля толщины кварцевых кристаллов, с одной кварцевой головкой, охлаждаемой водой, кабели осциллятора
VCM-Thick_02 1Ch блок контроля толщины кварцевого кристалла с одной кварцевой го-ловкой охлаждаемой водой, проводом, осциллятором, кабелями, программным обеспечением (Для использования требуется подключение к компьютеру)
По вопросам, связанным с приобретением криостатов, проработкой проектов, пробным тестированиям образцов, получением дополнительной информации обращайтесь к менеджерам компании ООО "Криотрейд".