Описание
Криогенные вакуумные насосы, насосы поверхностного действия, предназначены для создания высокого, сверхчистого вакуума. Принцип работы основан на конденсации и адсорбции газов на рабочих поверхностях, охлажденных до криогенных температур. Характеризуются гораздо большей скоростью откачки чем у традиционных масляных диффузионных или турбомолекулярных насосов.
SHI Cryogenics представляет линейку крионасосов Marathon®. Исключительная надежность, различные типы присоединительных фланцев (ANSI, ISO, CF), диапазон размеров (6 - 22 дюймов), прямая или низкопрофильная конфигурации, опции стандартной и повышенной емкости позволяют обеспечить максимальное соответствие крионасосов SHI Cryogenics их конечному применению.
Характеристики криогенных вакуумных насосов Marathon
| Модель |
|
CP-8 |
CP-250LP |
CP-12 |
CP-16 |
CP-20 |
| Скорость откачки (л/сек) |
Воздух |
1500 |
3060 |
3600 |
4800 |
9700 |
| Вода |
4200 |
6300 |
9560 |
17300 |
29100 |
| Аргон |
1250 |
2500 |
3100 |
4100 |
8300 |
| Азот |
1470 |
3100 |
3600 |
5800 |
N/A |
| Водород |
2300 |
5000 |
7300 |
12000 |
14000 |
| Гелий |
1350 |
2250 |
N/A |
N/A |
N/A |
| Производительность |
Аргон (Торр-л/сек) |
11,0 |
11,0 |
12,6 |
11,4 |
1,3 |
| Аргон (см3/мин) |
870 |
870 |
1000 |
900 |
900 |
| Емкость (стандартный литр) |
Аргон @ 1x10-6 Торр |
1200 |
1600 |
3100 |
5500 |
6000 |
| Водород @ 1x10-6 Торр |
25 |
25 |
50 |
50 |
33 |
| Параметр запуска (Торр-литров) |
|
220 |
220 |
650 |
500 |
400 |
| Время захолаживания (мин) |
|
75 |
110 |
90 |
135 |
190 |
| Присоединительный фланец |
ANSI |
6" |
N/A |
10" |
N/A |
20'' |
| ISO |
200 мм |
250 мм |
320 мм |
400 мм |
500 мм |
| Металлическое уплотнение (Conflat) |
10" |
N/A |
N/A |
N/A |
N/A |
| CVC |
N/A |
N/A |
N/A |
N/A |
N/A |
SHI Cryogenics представляет линейку крионасосов SICERA®. Исключительно малое энергопотребление позволяет использовать до шести 8" вакуумных насосов с общим компрессором.
Характеристики криогенных вакуумных насосов SICERA
| Модель |
|
CP-8 |
CP-250LP |
CP-12 |
CP-16 |
CP-20 |
| Скорость откачки (л/сек) |
Воздух |
1500 |
3060 |
3600 |
4800 |
9700 |
| Вода |
4200 |
6300 |
9560 |
17300 |
29100 |
| Аргон |
1250 |
2500 |
3100 |
4100 |
8300 |
| Азот |
1470 |
3100 |
3600 |
5800 |
N/A |
| Водород |
2300 |
5000 |
7300 |
12000 |
14000 |
| Гелий |
1350 |
2250 |
N/A |
N/A |
N/A |
| Производительность |
Аргон (Торр-л/сек) |
11,0 |
11,0 |
12,6 |
11,4 |
1,3 |
| Аргон (см3/мин) |
870 |
870 |
1000 |
900 |
900 |
| Емкость (стандартный литр) |
Аргон @ 1x10-6 Торр |
1200 |
1600 |
3100 |
5500 |
6000 |
| Водород @ 1x10-6 Торр |
25 |
25 |
50 |
50 |
33 |
| Параметр запуска (Торр-литров) |
|
220 |
220 |
650 |
500 |
400 |
| Время захолаживания (мин) |
|
75 |
110 |
90 |
135 |
190 |
| Присоединительный фланец |
ANSI |
6" |
N/A |
10" |
N/A |
20'' |
| ISO |
200 мм |
250 мм |
320 мм |
400 мм |
500 мм |
| Металлическое уплотнение (Conflat) |
10" |
N/A |
N/A |
N/A |
N/A |
| CVC |
N/A |
N/A |
N/A |
N/A |
N/A |
Схема подключения нескольких криовакуумных насосов SICERA к одному компрессору:
