Запрос отправлен!
Ваш запрос успешно отправлен.
Наш менеджер свяжется с вами в течение 15 минут.
Наш менеджер свяжется с вами в течение 15 минут.
Вакуумная система VCM 600 V3 GB
Описание
VCM 600 V3_GB представляет собой специальный тепловой испаритель, предназначенный для присоединения к перчаточной камере (Glove Box, GB). Вакуумная камера из нержавеющей стали и стойка для инструментов размещаются под перчаточной камерой. Полезный объем внутри перчаточной камеры практически не используется - только плоская дверца из нержавеющей стали, установленная на нижней плоскости перчаточной камеры. Возможно подключение как к новой, так и имеющейся у пользователя GB.
Сама вакуумная камера может иметь различную конфигурацию, дополнительные вакуумные порты и т.п. Она прикрепляется к перчаточному ящику снизу с помощью специального адаптера для обеспечения герметичности. На боковой стенке камеры установлена дверца из нержавеющей стали со стеклянным смотровым окном, через которую загружаются материалы для испарения и выполняется очищение камеры. Через дверцу внутри GB пользователь имеет до-ступ к держателю подложки для загрузки/выгрузки образцов и вентиляции камеры газом.
Дополнительные опции
- Дополнительный источник испарения для последовательного испарения 1.2 Дополнительный стандартный источник питания (150А) для каждого источника испаре-ния для совместного испарения
- Источник питания тока 300A в комплекте с измерителем, проводами и т.п.
- Камера из нержавеющей стали, диаметром 30 см и высотой 40 см, со смотровым окном и вспомогательным механизмом подъема
- D-образная камера из нержавеющей стали, с откидной дверцей со смотровым окном
- Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 300 л/с
- Ручной затвор для VCM600
- Электромеханический затвор
- Опция вращения подложки со скоростью до 40/70 об/мин. Не совместима с опцией нагрева.
- Форвакуумный насос
- Комплект термопар.
- Возможность подогрева подложки до 250 °С, с ручным управлением (контроль тока нагрева).
- Возможность подогрева подложки до 350 °С, регулировка с помощью PID контроллера.
- Адаптер для микроэлектронных лодочек
- VCM-Thick_01 SQM-160, 2Ch, блок контроля толщины кварцевых кристаллов, с одной кварцевой головкой, охлаждаемой водой, кабели осциллятора
- VCM-Thick_02 1Ch блок контроля толщины кварцевого кристалла с одной кварцевой го-ловкой охлаждаемой водой, проводом, осциллятором, кабелями, программным обеспечением (Для использования требуется подключение к компьютеру)
По вопросам, связанным с приобретением криостатов, проработкой проектов, пробным тестированиям образцов, получением дополнительной информации обращайтесь к менеджерам компании Криотрейд инжиниринг.