Система безмасковой литографии Nanyte beam

Печать страницы

Стоимость

Стоимость по запросу

Специальное предложение

Готово к отгрузке

Производитель

Simtrum

Документация

Система безмасковой литографии

Сопутствующие товары
Возникли вопросы?

Описание

Системы безмасковой литографии позволяют создавать наношаблоны, без необходимости использовать медленные и дорогостоящие фотошаблоны. Это удобство особенно полезно для исследований и быстрого прототипирования. Система Nanyte Beam дополняет эти преимущества, перенося их на настольные рабочие станции без ущерба для производительности.
Модуль Beam Engine фокусирует луч ультрафиолетового лазера в пятно с ограниченной дифракцией и сканирует его для экспонирования любого произвольного рисунка на фоторезисте. Для экспонирования больших пластин прецизионные шаговые двигатели перемещают пластину и позволяют сшивать несколько экспозиций. Модуль Beam Engine способен создавать элементы размером менее 0.8 мкм (CD) на 5-дюймовой пластине.

Преимущества

Компактность. Полнофункциональная безмасочная литография при размерах меньше настольного компьютера.
Мощность. Субмикронное разрешение при экспонировании поля записи менее чем за две секунды.
Сверхбыстрая автофокусировка. Пьезоприводы фокусируются менее чем за секунду с помощью проприетарной оптики с замкнутым контуром фокусировки.
Многослойная печать без лишних хлопот. Полуавтоматический режим позволяет выполнить многослойное выравнивание за считанные минуты.

Компоновка

Минимальная ширина линии		2 мкм (гарантированно) 0.8 мкм (достижимо)
Минимальный шаг		1.6 мкм (достижимо)
Время экспозиции		< 2 с для 1 поля записи
Макс. поле записи		400 Х 400 мкм
Длина волны лазера		405 нм
Лазерный гальванометр	Размер шага	8 nm
	Повторяемость	< 100 нм (статично)
	Скорость	до 200 мм/с

Ступенчатая обработка

Моторизированный шаговый двигатель	Разрешение энкодера	0.1 мкм
	Повторяемость шагов (1σ)	Лучше чем 0.3 мкм
	Зона движения	120 Х 120 мм
Макс. размер образца		130 Х 130 мм (> 5”)
Выравнивание пластин		Поддержка многослойных процессов

Общие данные

Доступные форматы файлов		.bmp, .png, .tiff, .gds Произвольнрые формы можно рисовать непосредственно в ПО.
ПО	Компоновка	Nanyte Beam Xplorer
	Дизайн	KLayout (самая мощная), MS Paint/Powerpoint (быстрая компоновка)
Масса		Легче 20 кг
Габариты		330 ✕ 310 ✕ 340 мм

Возникли вопросы ?

По вопросам, связанным с приобретением криостатов, проработкой проектов, пробным тестированиям образцов, получением дополнительной информации обращайтесь к менеджерам компании Криотрейд инжиниринг.

Имя

E-mail

Телефон

Сообщение (не обязательно)

Дополнительные файлы

Нажимая на кнопку «Отправить заявку», Я соглашаюсь на обработку персональных данных .

Политика ООО «Криотрейд инжиниринг»

Согласие на обработку cookie

Настоящим, продолжая работу на Сайте https://www.cryotrade.ru/, я даю свое согласие Обществу с ограниченной ответственностью «Криотрейд инжиниринг» (ИНН 7733250163, ОГРН 1157746856519) на автоматизированную обработку моих персональных данных (файлы cookie, сведения о действиях, которые я совершаю на Сайте, сведения об используемых для этого устройствах), путем совершения следующих действий: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, блокирование, удаление, уничтожение.

На Сайте используются следующие типы файлов cookie:

1. Технические файлы cookie: необходимы для корректной работы Сайта и сервисов. Позволяют определять аппаратное и программное обеспечение устройства Пользователя; выявлять ошибки при работе Сайта; тестировать новые функции для повышения производительности.
2. Аналитические файлы cookie: позволяют подсчитывать количество Пользователей; определять действия (посещаемые страницы, время и количество просмотров). Сбор данных осуществляется через партнеров, в том числе Google Analytics, Yandex Metrika.
3. Рекламные файлы cookie: помогают анализировать, из каких источников Пользователь перешел на Сайт, а также персонализировать рекламные сообщения.

Срок хранения файлов cookie зависит от типа, но в любом случае не превышает срока, необходимого для достижения целей обработки персональных данных.

При посещении Сайта Оператор запрашивает согласие Пользователя на использование файлов cookie. Обработка данных осуществляется в целях улучшения работы Сайта и совершенствования сервисов. Настоящее согласие действует с момента предоставления и в течение всего периода использования Сайта.

В случае отказа от обработки данных я проинформирован о необходимости прекратить использование Сайта или отключить файлы cookie в настройках браузера.

Контакты

Напишите нам