Спин-коатеры (центрифуги для нанесения покрытий)

Описание

Нанесение покрытия методом центробежного растекания применяется для нанесения однородных тонких пленок жидких материалов на плоские подложки. Материал для покрытия в жидкой форме наносится в центр подложки, которая вращается со скоростью до 10 000 оборотов в минуту, благодаря чему он равномерно распределяется под действием центробежной силы. Подложка обычно имеет вакуумный прижим, либо специальный патрон, в котором могут быть размещены образцы конкретной формы.
Спин-покрытие широко используется при производстве функциональных оксидных слоев на стеклянных или монокристаллических подложках для создания однородных тонких пленок нано-размерной толщины, а также в фотолитографии для нанесения слоев фоторезиста толщиной около 1 микрометра.

Типичные технические характеристики