Установки вакуумного лазерного напыления

Стоимость
Стоимость по запросу
Специальное предложение
Готово к отгрузке
Производитель
телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Стоимость
Стоимость по запросу
Специальное предложение
Готово к отгрузке
Производитель
Установка состоит из вакуумной камеры для распыления, вращающейся платформы с установленной на ней мишенью, держателя образца, контура подачи контролируемой атмосферы, системы откачки (форвакуумный и турбомолекулярный насосы), лазера с источником питания, оптической системы сканирования по осям X-Y, системы измерения вакуума, стойки питания и управления, блока измерения толщины напыляемого материала, чиллера.
Вакуумная камера | Нерж.сталь, сфера, ø 300 мм, воздушное охлаждение |
Вакуум | До 6,67 х 10-5 Па |
Мишень (до 4 шт.) | Ø 25 или 60 мм, вращение 5-60 об./мин. |
Подложка, макс. темп-ра | до 800 °С, |
Подложка | Размер 2”, вращение 5-60 об./мин. |