телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Телефон/факс
Для заказа криогенных жидкостей
Стоимость
Стоимость по запросу
Специальное предложение
Готово к отгрузке
Производитель
Для распыления мишеней из металлов применяют магнетроны постоянного тока (DC), а для неметаллических материалов (полупроводников и диэлектриков) – магнетроны переменного тока радиочастотного диапазона (RF).
- Вакуумная камера с вращающимся держателем подложки и с 2-мя смотровыми окнами
- Система откачки вакуума на базе форвакуумного и турбомолекулярного насосов
- Магнетрон DC с регулировкой угла наклона головки мишени
- Магнетрон RF с регулировкой угла наклона головки мишени
- Блок измерения толщины наносимого покрытия
- Шкаф электропитания
- Приборная стойка с контроллером с сенсорным экраном
- Автоматический блок регулировки подачи плазмообразующих газов
- Электропривод подъема крышки камеры
- Пневматический привод заслонок мишеней
- Датчики Пирани и высокого вакуума
- Чиллер и Воздушный компрессор для пневматических линий
| Установка в напольном исполнении | Установка в настольном исполнении | |
| Вакуумная камера | Нерж. сталь, Ø450 х 460 мм, жидкостное охлаждение магнетронов | Нерж. сталь, Ø250 х 250 мм, жидкостное охлаждение магнетронов |
| Держатель подложек | Вращающийся 2-10 об./мин., Ø 150 мм | Вращающийся 0-20 об./мин., Ø 100 мм |
| Магнетрон DC | 1000 Вт, мишень Ø 4” | 500 Вт, мишень Ø 2” (опция) |
| Магнетрон RF | 500 Вт, мишень Ø 4” | 300 Вт, мишень Ø 2” |
| Макс. вакуум | 8 х 10-5 Па | 1 х 10-3 Па |
| Нагрев подложек | До 500 °С | До 500 °С |
| Неравномерность покрытия | < +5 % на подложке 5” < +3% на подложке 2” |
< 3 % |
| Электропитание | 380 В, 50 Гц, 5 кВт | 220 В, 50 Гц, 2 кВт |
